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安捷伦 大型扩散泵 HS-20

Agilent HS-20 油扩散泵具有高通量和 10000 L/s 的高抽速。得益于充分优化的蒸汽喷射、耐用的加热盘设计和热保护开关,该泵可运行多年而无需任何维护。它采用 20 英寸 ASA 或 ISO 630K 抽气口法兰。

这款泵非常适合工业应用,如真空炉、热处理、金属喷涂,以及光学镜片、电子产品和保护膜层的镀膜工艺。
  • 五级分馏喷嘴可纯化泵油并确保极限真空度
  • 高前级耐压
  • 完整热保护
  • 液位观察镜可随时快速指示泵油状态
  • 加油放油组件
  • 包括抽气口法兰下方的标准真空计端口 (NW-25)
  • 前级挡板可防止泵油进入前级泵系统并造成流失
  • 可选 Halo Baffles 挡板可以在不增加高度的前提下减少返流
冷却时间
  • 45 min
抽速 — He/H2
  • 12500 L/s
抽速 — 空气
  • 10000 L/s
抽速 — 空气,通过 AVS 4.1 (1963)
  • 17500 L/s
推荐前级泵
  • ≥ 100 cfm (170 m3/h)
操作范围
  • 1.3 x 10-3 至 5 x 10-8 Torr
  • 1.7 x 10-3 至 6.5 x 10-8 mbar
最大前级耐压 — 无负载
  • 0.65 Torr
  • 0.85 mbar
最大前级耐压 — 满载
  • 0.55 Torr
  • 0.72 mbar
最大抽气量
  • 12.5 T-L/s (16.7 mbar-L/s)
水冷 — 温度要求
  • 60-80 °F
  • 15-26 °C
水冷流速要求
  • 1.5 gpm
  • 300 L/h
注油量
  • 4731 CC
泵功率
  • 12000 W
泵油类型
泵重
  • 600 lbs
  • 272.2 kg
电气要求
  • 3 相
  • 50/60 Hz
  • 240/415/480 V
输入电压
  • 208、240、380、400、415、440、460、480、575 V
返油率
  • 1.5 x 10-3 mg/cm²/min
连接水冷
  • 1/4 英寸 FPT
预热时间
  • 45 min