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安捷伦 小型扩散泵 VHS-10

VHS-10 扩散泵抽速可达 3650 L/s，可同时订购 ASA 或 ISO 法兰、标准或外延冷却帽，适用于多种电压。独特的凸型腔体可增加气体捕集，并能保持更低压力。所有 VHS 系列泵都配有观察镜/加油放油组件，便于对泵油进行连续监测和轻松维护。翅片式加热盘设计增大了表面积，延长了泵油的使用寿命。

这款蒸汽喷射泵非常适合工业应用，如真空炉、热处理、金属喷涂，以及光学镜片、电子产品和保护膜层的镀膜工艺。
  • 独特的凸型腔体可增加气体捕集
  • 液位观察镜可随时快速指示泵油状态
  • 加油放油组件便于维护泵油
  • 高通量
  • 分馏喷嘴可纯化油，实现洁净运行
  • 高前级耐压
  • 完整热保护开关可在各种过热情况下提供保护
  • 不锈钢泵体
  • 翅片式加热盘设计增大了表面积，延长了泵油的使用寿命
  • 标配速冷盘管
冷却时间
  • 25 min
抽速 — He/H2
  • 4560 L/s
抽速 — 空气
  • 3650 L/s
抽速 — 空气，通过 AVS 4.1 (1963)
  • 5300 L/s
推荐前级泵
  • ≥ 30 cfm (51 m3/h)
操作范围
  • 1.7 x 10-3 至 <5 x 10-9 Torr
  • 2.3 x 10-3 至 <6.5 x 10-9 mbar
最大前级耐压 — 无负载
  • 0.65 Torr
  • 0.85 mbar
最大前级耐压 — 满载
  • 0.55 Torr
  • 0.72 mbar
最大抽气量
  • 6.3 T-L/s (8.4 mbar-L/s)
水冷 — 温度要求
  • 60-80 °F
  • 15-26 °C
水冷流速要求
  • 0.40 gpm
  • 80 L/h
注油量
  • 1000 CC
泵功率
  • 4400 W
泵油类型
  • 油
泵重
  • 150 lbs
  • 68 kg
电气要求
  • 3 相
  • 50/60 Hz
  • 208/240/380/480 V
输入电压
  • 208、240、380、400、440、480、575 V
返油率
  • 5.0 x 10-4 mg/cm²/min
连接水冷
  • 1/8 英寸 FPT
预热时间
  • 15 min