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安捷伦 分子泵 Turbo-V 3K-G

Agilent Turbo-V 3K-G 高通量涡轮分子泵是一款专用真空泵系统，是针对薄膜沉积设备精心设计的涡轮分子泵。其叶片级数和整个泵结构均经过优化，能够在高温负载和极高氩气流下工作。

这款泵设计坚固，适用于恶劣的制造环境。典型的工业真空镀膜应用，包括太阳能板和平板显示器制造。Turbo-V 3K-G 的可靠设计和先进的集成电子设备，使其成为真空镀膜行业的最佳分子泵解决方案。
  • 专为薄膜沉积应用而设计的分子泵解决方案
  • 经优化适用于极高的氩气流量
  • 集成式泵和控制器可安装在任何位置，操作简单，占地面积小
  • 支持高气体流速，能够使用 DN 250 实现高通量应用
  • 耐用设计、高效运行的冷却系统可实现连续运行
  • 气体吹扫可保护泵轴承，在存在系统污染物和微粒的情况下可实现无缝运行
  • 低噪音，不会对系统产生任何影响
  • 免维护轴承，零运行成本
  • 通过 Vacuum Link 应用程序实现无线控制，以便随时随地进行泵操作并可选配 Profibus
  • 通用电子接口，包括模拟 I/O 信号和 RS232/RS485，用于通过 A-Plus 软件实现远程控制
He 压缩比
  • 6 x 103
N2 压缩比
  • >1 x 107
前级管道法兰尺寸
  • KF 40 NW
前级耐压 — N2
  • 0.5 mbar
启动时间
  • < 6 min
工作位置
  • 任意
建议采用的前级泵容量
  • 60 m³/h
抽速 — Ar
  • 2050 L/s
抽速 — He
  • 1900 L/s
抽速 — N2
  • 2200 L/s
操作环境温度
  • +5 to +35 °C
极限真空
  • <1 x 10–8 mbar
标准和认证
  • EN 55011（无线电干扰特性）
    EN 61000-3-2（谐波电流发射限值）
    EN 61000-3-3（电压变化、电压波动和闪烁的限制）
    EN 61000-6-2 和 EN 61326（工业环境的抗扰度）检查：
    EN 61000-4-2（静电放电现象）
    EN 61000-4-3（高频辐射现象）
    EN 61000-4-4、EN 61000-4-5 和 EN61000-4-6（高频导电现象）
    EN 61000-4-11（电压波动、电压暂降和短时中断）
法兰类型
  • DN 250 ISO-F
贮存环境温度
  • -20 至 +70 °C
重量
  • 52 kg
额定转速
  • 31800 rpm（驱动频率 530 Hz）