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安捷伦 分子泵 Turbo-V 1K-G

高通量 Agilent Turbo-V 1K-G 涡轮分子泵是一种专用真空泵系统，抽速可达 1000 L/s。Turbo-V 1K-G 专为工业应用而设计，尤其可用作薄膜沉积设备的涡轮分子泵。其叶片级数和整个泵结构均经过优化，能够在高温负载和极高氩气流下工作。

典型的工业真空镀膜应用，包括太阳能板和平板显示器制造。Turbo-V 1K-G 的可靠设计和先进的电子设备、机架式或一体式解决方案，使其成为真空镀膜行业的最佳分子泵解决方案。
  • 专为薄膜沉积应用而设计的分子泵解决方案
  • 经优化适用于极高的氩气流量
  • 支持高气体流速，能够使用 DN 160 或 200 实现高通量应用
  • 耐用设计、高效运行的冷却系统可实现连续运行
  • 气体吹扫可保护泵轴承，在存在系统污染物和微粒的情况下可实现无缝运行
  • 低噪音，不会对系统产生任何影响
  • 体积小巧，可安装在任何位置，有利于轻松集成
  • 免维护轴承，零运行成本
  • 通过 Vacuum Link 应用程序实现无线控制，以便随时随地进行泵的操作
  • 通用电子接口
H2 压缩比
  • 1.5 x 104
He 压缩比
  • >4 x 104
N2 压缩比
  • >5 x 107
前级管道法兰尺寸
  • KF 25 NW
  • KF 40 NW
前级耐压 — N2
  • 3 mbar
启动时间
  • < 5 min
工作位置
  • 任意
建议采用的前级泵容量
  • 20 m³/h
抽速 — Ar
  • 1040 L/s (ISO 200) L/s
抽速 — H2
  • 730 L/s (ISO 200) L/s
抽速 — He
  • 1150 L/s (ISO 200) L/s
抽速 — N2
  • 1080 L/s (ISO 200) L/s
振动水平
  • < 在抽气口法兰处为 0.01 μm
操作环境温度
  • +5 to +35 °C
极限真空
  • <1 x 10–10 mbar
标准和认证
  • UNI EN 292-1
    UNI EN 292-2
    EN 55011 A类
    EN 61000-4-2
    EN 61000-4-3
    EN 61000-4-4
    EN 61000-4-5
    EN 61010-1
    EN 1012-2
法兰类型
  • DN 160 ISO-F
  • DN 200 ISO-F
贮存环境温度
  • -20 至 +70 °C
重量
  • 26.8 kg
额定转速
  • 45660 rpm（驱动频率 761 Hz）