蔡司双束电镜 Crossbeam 550 Samplefab
蔡司双束电镜 Crossbeam 550 Samplefab
[产品简介]
蔡司双束电镜 Crossbeam 550 Samplefab，作为一款专为半导体行业TEM样品制备开发的高端聚焦离子束扫描电子显微镜（FIB-SEM），提供优异的灵活性、自动化功能和用户友好设计，帮助半导体行业的样品制备更加简便高效。
[产品特点]
l 行业标准软件界面
l 优化配置提升设备和软件稳定性
l 全自动TEM样品制备体验
l 原位（in-situ, lift-out）与非原位（ex-situ, pick-up）灵活可用
l 高质量的自动与手动制样
[应用领域]
电子和半导体行业，失效分析及TEM样品制备。
【应用案例】
分别使用全自动非原位（ex-situ, pick-up）与原位（in-situ, lift-out）制样的 TEM 薄片样品
手动最终减薄的 7nm 工艺处理器，平面 TEM 薄片
使用 Crossbeam 内 STEM 探测器拍摄
